岡本工作機(jī)械制作所2007年12月7日公布了加工范圍“達(dá)到全球最大級(jí)別”的大型超精密高剛性龍門(mén)式平面研削機(jī)床“UDG10035NC”。主要用于加工用于半導(dǎo)體與液晶裝置的大型高精度平面工件，加工范圍為長(zhǎng)10m×寬3.5m（通過(guò)寬度為4m）。研削機(jī)床將安裝在該公司位于群馬縣安中市的安中工廠，計(jì)劃12月投入運(yùn)行。
近年來(lái)，平板顯示器（FPD）的尺寸日趨大型化。同時(shí)，光掩模以及XY工作臺(tái)等FPD制造需要的裝置也日益大型化。對(duì)可以高精度加工大尺寸部件的機(jī)床的需求日益擴(kuò)大。新設(shè)備就是用來(lái)制造滿(mǎn)足上述要求機(jī)床的“母機(jī)床”。
加工大型研削機(jī)床的部件時(shí)，原來(lái)使用的是加工范圍為10m×2m的研削機(jī)床。新設(shè)備可以加工更大尺寸的部件，“加工時(shí)間比原來(lái)減少大約一半”（岡本工作機(jī)械制作所）。
新設(shè)備包括工作臺(tái)和橫梁（Cross rail）兩部分。其中，工作臺(tái)左右移動(dòng)用來(lái)固定工件。橫梁上設(shè)置有保持兩種砂輪主軸的單元，并可前后移動(dòng)。新設(shè)備的特點(diǎn)是除了工作臺(tái)，一般認(rèn)為比較困難的橫梁方向也提高了真直度的精度。前后左右方向上的精度均為0.5μm/m。
在可像工作臺(tái)導(dǎo)軌面那樣可動(dòng)部分和靜止部分相互接觸的面上采用了該公司擅長(zhǎng)的“可變靜壓滑動(dòng)系統(tǒng)”。靜壓方式是指向?qū)к壝娴目障豆┙o高壓流體，使兩個(gè)面之間保持非接觸狀態(tài)，維持導(dǎo)軌面的剛性�？勺冹o壓方式則進(jìn)一步根據(jù)導(dǎo)軌面的負(fù)荷控制流體的流量。這樣，在防止工作臺(tái)傾斜的同時(shí)，還可以減小導(dǎo)軌面的磨損。使用可變靜壓方式時(shí)，導(dǎo)軌面的剛性是采用靜壓方式的大約4倍。
