1月7日電 以中國工程院院士王玉明為主任的專家鑒定委員會(huì)今天下午在杭州富陽宣布：我國磁軸承技術(shù)研發(fā)獲得重大突破，第一個(gè)國產(chǎn)磁軸承產(chǎn)品———“基于交叉反饋控制的FS450型分子泵磁軸承”，在浙江飛旋科技有限公司研發(fā)成功，從而在分子泵應(yīng)用領(lǐng)域打破了國外的技術(shù)壟斷，使我國成為繼法國、美國、加拿大、德國等少數(shù)發(fā)達(dá)國家之后擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的磁軸承技術(shù)產(chǎn)品的國家。
磁軸承又稱主動(dòng)磁懸浮軸承，是一種轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸的新型高性能軸承。它由機(jī)械部件、電控系統(tǒng)、傳感器和輔助軸承等構(gòu)成。利用電磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空間，具有無機(jī)械磨損、能耗低、允許轉(zhuǎn)速高、噪聲少、壽命長、無潤滑介質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)。選擇磁軸承作為分子泵轉(zhuǎn)子的支承，可以從根本上解決傳統(tǒng)軸承潤滑帶來的潤滑油脂的油蒸汽返流對真空室的污染等問題，使磁軸承真空分子泵成為集成電路制造設(shè)備首選的超高真空獲得設(shè)備。磁軸承是繼油潤滑、氣潤滑之后軸承行業(yè)又一次革命性變化，為傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)增加了高科技產(chǎn)品。這種精密的機(jī)電一體化產(chǎn)品，除了在真空分子泵中應(yīng)用外，還在軍工、航天航空、石油石化、能源等領(lǐng)域有著廣闊的前景。
由浙江飛旋科技有限公司總經(jīng)理洪申平為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，在國內(nèi)率先研發(fā)成功了適用于集成電路裝備應(yīng)用的分子泵磁軸承。他們在國內(nèi)首次將一種5自由度控制的磁懸浮軸承用于分子泵，并采用交叉反饋的控制技術(shù)，解決了撓性轉(zhuǎn)子在高轉(zhuǎn)速下的陀螺效應(yīng)問題，提高了轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性；采用了本機(jī)動(dòng)平衡技術(shù)，有效地降低了轉(zhuǎn)子的振動(dòng)。
